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Positive ebeam resist (6)
Negative ebeam resist (5)

3. PMMA

ㆍ	Positive e-beam resist
ㆍ	Molecular weights: 950K, 495K, 350K, 120K, 30K and others Dilutions from 1% up to 18% (depending on molecular weight)
ㆍ	Thickness: 50 nm - 2000 nm
ㆍ	500ml 이상 구매 시 두께별로 250ml 용량 선택 가능
ㆍ	저렴한 가격. 250ml, 500ml, 1L 이외 용량 선택 가능
ㆍ	납기일: 3~5주 (평균 납기일: 21일, 2018년 납품 기준)

PMMA positive e-beam resist

Features

Properties

- Positive e-beam resist.
- Molecular Weights: 950K, 495K, 350K, 120K, 35K.
- Dilution: < 1% up to 18% (depending on molecular weight).
- 판매 용량: 250 ml to 30 L.
- Flexible Distribution: 500 ml 이상 두께 별 250 ml로 선택 가능.
     예). 1L 구매 시 아래와 같이 선택 가능.
     1. 950K A2: 250ml x 1bottle.
     2. 495K A7: 250ml x 1bottle.
     3. 120K A10: 500ml x 1bottle.

Parameter /PMMA	A1 to A18
Thickness (μm) / 4000 rpm	50 nm to 2000 nm
Resolution value (nm)	< 10

Spin Curves
PMMA 950K A2, A4, A6, A7, A8	PMMA 495K A2, A4, A6, A8, A11

PMMA 495K A15, A16, A17, A18	PMMA 350K A2, A4, A6, A8

PMMA 350K A15, A16, A17, A18