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Positive ebeam resist

3. PMMA
ㆍ  Positive e-beam resist
ㆍ  Molecular weights: 950K, 495K, 350K, 120K, 30K and others
Dilutions from 1% up to 18% (depending on molecular weight)
ㆍ  Thickness: 50 nm - 2000 nm
ㆍ  500ml 이상 구매 시 두께별로 250ml 용량 선택 가능
ㆍ  저렴한 가격. 250ml, 500ml, 1L 이외 용량 선택 가능
Test sample 제공 가능
ㆍ  납기일: 3~5주 (평균 납기일: 21일, 2018년 납품 기준)
PMMA positive e-beam resist
Features
Properties
  - Positive e-beam resist.
  - Molecular Weights: 950K, 495K, 350K,  120K, 35K.
  - Dilution: < 1% up to 18% (depending on molecular weight).
  - 판매 용량: 250 ml to 30 L.
  - Flexible Distribution: 500 ml 이상  두께 별 250 ml로 선택 가능.
      예). 1L 구매 시 아래와 같이 선택 가능.
      1. 950K A2: 250ml x 1bottle.
      2. 495K A7: 250ml x 1bottle.
      3. 120K A10: 500ml x 1bottle.
 Parameter /PMMA A1 to A18
 Thickness (μm) /
 4000 rpm
50 nm to 2000 nm
 Resolution  value (nm) < 10

Spin Curves
PMMA 950K A2, A4, A6, A7, A8
PMMA 495K A2, A4, A6, A8, A11
PMMA Positive E-beam Reist 950K A2 to A8 Spin Curve
PMMA Positive E-beam Reist 495K A2 to A11 Spin Curve
PMMA 495K A15, A16, A17, A18
PMMA 350K A2, A4, A6, A8
PMMA Positive E-beam Reist 495K A15 to A18 Spin Curve
PMMA Positive E-beam Reist 350K A2 to A8 Spin Curve
PMMA 350K A15, A16, A17, A18
PMMA Positive E-beam Reist 350K A15 to A18 Spin Curve